JBX-A9 系列 电子束光刻系统

最新高精密 JBX-A9系列电子束光刻系统，是一款100kV圆形电子束光刻系统，兼具高水平的精度刻写和产能，最大能容纳300mmφ的晶圆片和9英寸的掩模版，适合纳米压印、光子器件、通信设备等多个领域的研发及生产。

   主要特点                                                                                                                                                        

1.    兼具高精度刻写和高产能  

2.    稳定的电子光学系统  

3.    最大可对应300mm晶圆片  

4.    可对应300mm晶圆片FOUP  

5.    可与自动显影机等其他产品联机  

6.    与本公司以往机型相比低能耗  

7.    可操作性强，提升用户使用体验  

   应用实例