物联网截面抛光仪诞生!
截面抛光仪CP是为电子显微镜制备截面样品的仪器。因为用离子束进行制样,与其他制样方法如机械抛光相比,可以在短时间内制备出高质量截面。
新GUI界面和物联网(IoT)的引入进一步提高了操作的简便性;高效离子源和冷却系统能够快速、低损伤地制备出光滑截面。
主要特点
1. 新GUI界面和物联网(IoT) ~人性化和远程控制~
采用新GUI界面,操作步骤容易理解。
按照控制面板上的流程图轻松操作。
预设功能可用于保存和找回针对特定应用或样品类型的工艺条件。
与局域网连接,通过web浏览器对CP进行远程访问和控制,可以对多个CP进行监控和调整刻蚀工艺。
2. 高效离子源
通过优化离子源电极和提高加速电压,提升了离子电流强度。 标准截面刻蚀速率达到1,200 μm/h*。
样品:硅晶片 离子能量:10 keV, 刻蚀时间:1小时
3. 制备高效冷却系统 ~自动冷却和自动返回室温~
自动进行冷却和返回室温。 另外,可以从CP这边围绕液氮箱抽真空,以确保冷却保留时间和样品的冷却温度。
在-120°C下,可以连续刻蚀8小时。
控制冷却温度,并通过冷却导体的反复连接/缩回来减少液氮消耗。
可以在液氮环境下更换样品。