JIB-PS500i 双束加工观察系统

新型样品制备解决方案！

JIB-PS500i提供三种协助TEM样品制备的解决方案，是最适用样品制备和分析的FIB-SEM系统。

功能1.   TEM-LINKAGE

双倾样品盒和TEM样品杆使TEM ⇔ FIB之间的连接更简单。样品盒可单触安装到专用的TEM样品杆上。

@  双倾样品盒的样品传送流程

@  样品室内机械手

采用Oxford Instruments 公司制造的的OmniProbe 400，可以实现精准快速的采样操作。JIB-PS500i的软件兼容OmniProbe 400的操作。

样品：5nm设计规则半导体器件 (FinFET)

观察条件：（左）加速电压2kV，检测器SED二次电子像，（中，右）加速电压200kV，TEM像，使用仪器：JEM-ARM200F

功能2.   CHECK-AND-GO

为了准确有效地制备TEM样品，实地检查制样效果很重要。JIB-PS500i 能够从TEM制样无缝转移到STEM观察。薄片加工⇔STEM观察之间反复切换、可有效地制样。

样品: SiC功能半导体器件  观察条件：加速电压30 kV、检测器（左上）STEM-BF、(右上) STEM-DF、(左下) SED 二次电子像、(右下) EDS元素分布图  紫: Al 黄: Ti 橙: P 蓝: O 緑: Si

功能3.  AUTOMATIC PREPARATION

通过自动TEM制样系统STEMPLING2，自动化制样。制备的样品质量不会因操作人员的技能而出现偏差。

样品：铜镀层    (上部) 自动制备样品块、(下部) 样品块自动被加工成薄片    观察条件：加速电压30 kV、检测器SED (SIM像)

    HIGH-RESOLUTION & HIGH-CONTRAST SEM Imaging                                                                      

不再迷茫，不放过加工终点的高品质SEM图像

！Signal detection system

配备多个检测器，包括标配的SED、UED、iBED。对应各种样品，根据用途选择适合的检测器，进行有效观察。

！High resolution SEM imaging

SEM镜筒内置了超级圆锥形透镜系统，显著地提高了低加速电压下观察性能。作为确认薄片加工终点用的SEM、可以采集到衬度好的鲜明的图像。

！SEM imaging of FIB-prepared cross section

超小型、可插拔式背散射电子检测器（RBED）即使在样品台倾斜时也可以使用。样品表面观察和需要倾斜观察的FIB截面观察，结合SED和UED检测器，各种各样检测器进行最佳的SEM观察。

样品：3D NANO闪存芯片的FIB截面     观察条件：加速电压2 kV、检测器 (左) SED 二次电子像、(中) RBED 背散射电子像、(右) UED背散射电子像

！EDS integration software*

一体化集成EDS分析软件。

    HIGH-POWER & HIGH-QUALITY FIB Processing                                                                                    

超强性能的FIB加工

！Large-area, Fast FIB processing

FIB镜筒采用大电流Ga离子束照射（最大电流100nA）。这种大电流加工对于大面积成像和分析特别有效。

样品：半导体器件      观察条件：加速电压3 kV、检测器 SED 二次电子像       样品块200×4×15 μm。 使用OmniProbe400※采集的样品块

！Damage-layer removal by low-kV processing

FIB镜筒设置的工作距离比以前机型的短，结合新开发的电源，提高了低加速电压的处理性能。加上新的控制系统，可以进行高精度的薄膜制备中重要的低加速加工。

    New Chamber & Stage Design                                                                                                            

大样品室、高倾斜大型样品台

！Loading a large specimen

大样品室和新开发的5轴全对中大型马达驱动样品台。移动范围增大，可对应大样品。可以对直径130mm的样品进行全面的加工和观察。此外，80mm高的样品也可以装到样品室。

  150mm硅晶片装在样品室的样子。