反射电子捕集器

电子束蒸镀过程中，照射到蒸镀材料的电子束的一部分成为反射电子（后方散乱电子）被放射出来，到达基板后会对基板造成伤害，并且与基板温度上升和膜的附着性降低有一定的关联。 反射电子捕集器是一款与电子枪组合以后可以有效减少反射至基板的反射电子量的设备，也可以用于对既有蒸镀设备的后期改装。

减少反射电子，会有以下的功效：

・ 可以有效抑制基板温度的上升。适用于在抗腐蚀区域上进行蒸镀的脱膜工序。

・ 适用于容易受到反射电子伤害的基板和薄膜镀膜。

・ 可以有效提高附着性。

    反射电子的特征和影响                                                                                                                    

1.   反射电子的特征  

*   所附带的能量基本与入射能量相同；

*  （平均）原子序数越大放出比也越大；

*   放出角度受到入射电子束角度极大的影响。

2.   反射电子的影响  

   降低入射的反射电子                                                                                                                        

   抑制反射电子的数据                                                                                                                        

   电子束照射（加速电压 -6 kV，Emission电流 100mA）材料钨，通过测量基板伞架的电流来测定反射电子的量。

【测定条件】

加速电压：6kV，入射电流：100mA， 照射材料：钨， 真空室直径：1300mm，T-S间距：1100mm

    反射电子捕集器的效果   - 抑制基板温度上升 -                                                                                

    电子束蒸镀时抗蚀部分出现变形，主要原因是由于反射电子射入造成的温度上升。

   反射电子捕集器可以捕获反射电子，可以实现稳定的脱膜蒸镀，最适合MEMS等电极膜的蒸镀。

Ta₂O₅镀膜时的基板温度测定结果

   反射电子捕集器的效果   - 提升附着性 -                                                                                          

   可以抑制反射电子入射造成的基板表面伤害，提升膜的附着力。

   在PMMA基板上进行铝蒸镀和防反射膜镀膜的结果，通过胶带剥离实验确认了良好的附着性。

 适用电子枪  

・ BS-60070DEBS

・ BS-60060DEBS/BS-60070DEBS 270°偏转型电子枪

・ BS-60050EBS

・ BS-60040VGN

・ BS-60030DGN

※BS-60211DEM 〉反射电子捕集器一体型电子枪