JSM-IT510 InTouchScope™ 扫描电子显微镜—jeol捷欧路
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JSM-IT510  InTouchScope™  扫描电子显微镜

JSM-IT510 InTouchScope™ 扫描电子显微镜

扫描电子显微镜(SEM)是科研及制造工厂品控的必需工具,用户常需重复观察操作,快速操作可提升效率。JSM - IT510 新增“简单 SEM”功能,将手动重复操作自动化,助用户更高效轻松完成 SEM 观察。

详细介绍

JSM-IT510 新增 “ 简单 SEM ”功能,用户可将 SEM 观察所需的“手动重复操作交给它”,从而更高效、更轻松地完成 SEM 观察。


    主要特点                                                                                                                                      

1.   简单 SEM

只需选择目标视野

“简单 SEM”支持日常工作

 

样品:电子元件    加速电压:15 kV,放大倍数:×50(上部) ×1,000(下部),信号: BE



简单SEM_01-1.jpg



2.   样品交换导航

从样品交换引导至自动观察   安全简单!

第一步:按照导航指南设置样


                                                            测量样品高度



第二步:准备抽真空观察



*1  样品台导航系统(SNS)是选配件

*2  大区域样品台导航系统(SNSLS)是选配件

*3  样品室相机(CS)是选配件


第三步:自动开始观察

真空完成后自动成像



3.   Zeromag

轻松实现光学图像与SEM图像之间的无缝转换

Zeromag 功能简化了导航,提供从光学图像到 SEM 图像的无缝过渡。 SEM、光学图像和样品台示意图全部链接在一起,以获得分析位置的全局视图。


样品:菊石化石    加速电压:7kV   信号:BE


Zeromag.jpg





4.   实时分析 / 实时引导图 *2

SEM观察的同时掌握该区域的元素组成

实时分析是一项在图像观察期间实时显示 EDS 光谱或元素图的功能。此功能支持搜索目标元素并提供警示。  


实时分析引导图.jpg


简单分析

最多点击3次即可开始EDS分析


简单分析.jpg


5.   多种高级选项

1.  NEW 低真空混合二次电子探测器(LHSED)*

该新型探测器可以收集电子和光子信号,并提供具有高信噪比和增强形貌信息的图像



LHSED.jpg


2. NEW   实时3D*

新多向分割BE探测器*,  获得的图像可以显示为实时3D图像。 即使样品具有细微的表面起伏,实时3D也可以直观的将其清晰的表现出来,并获取其深度信息。


样品:螺钉     加速电压:15kV   放大倍数:x100  信号:BE


实时3D.jpg


3.  蒙太奇

蒙太奇功能可以自动获取多个小视野的图像并将这些图像拼接成一张更大视野的图像。


样品:菊石化石    加速电压:15kV    放大倍数:x150   信号:BE   视野数:13 x 13


蒙太奇.jpg



4.  显示信号深度

此功能实时显示被测样品的分析深度(近似数值),对元素分析非常有用。


显示信号深度.jpg



SM-IT510系列有下面4种配置:

BU(基本单元)基本类型, 高真空条件下观察
A(分析型)分析型,标配EDS能谱
LV(低真空型)低真空型,适用于高、低真空操作,配置BED
LA(低真空分析型)低真空分析型,适用于高、低真空操作,配置BED和EDS



SEM规格

分辨率高真空模式:3.0nm(30kV),15.0nm(1.0kV);低真空模式:4.0nm(30kV、BED)
放大倍数x5 至 x300,000
电子枪钨灯丝,全自动电子枪调准
加速电压0.3kV~ 30kV
LV压力调节10~650Pa
物镜光阑4档,带XY微调功能
自动功能灯丝饱和点调整、电子枪合轴调整、电子束对中调整、聚焦/散光/亮度/衬度调整
最大样品尺寸200mm直径 x 75mm高
样品台大型全对中样品台  X: 125mm  Y:100mm  Z:80mm  倾斜:-10~90o  旋转:360o
图像模式二次电子像、REF像、成分像、形貌像、阴影像
图像尺寸640 x 640、1280 x 960、 2560 x 1920、 5120 x 3840
照片辅助功能蒙太奇、简单SEM、Zeromag、实时3D
操作支持功能菜单(标准菜单/自定义菜单),测量、样品交换导航、信号深度功能、3D测量*
操作系统Win10 64位
显示器23.8英寸触控面板
语言切换日语、英语、中文(可在用户界面上操作)
真空系统全自动、TMP、RP


主要可选项

1.  背散射电子探测器BED

2.  低真空混合二次电子探测器LHSED

3.  低真空二次电子检测器LVSED

4.  能谱仪EDS

5.  波谱仪WDS

6.  电子背散射衍射图样EBSD

7.  真空预抽室LLC
8.  样品台导航系统SNS

9.  大区域样品台导航系统SNSLS

10.  样品室相机CS

11.  操作面板OP2

12.  LaB6电子枪

13.  3D分析软件SVM